華體會體育電子企業、微電子企業是當時對潔凈等級要求最高的企業,依照潔凈程度不同,可分為 一般區域和受控潔凈區、潔凈室、氣閘室等。對一般區域的保潔,依照通常的寫字樓的要求 進行即可,而關于受控潔凈區、潔凈室、氣閘室等潔凈等級較高的區域就有必要有相應的專業 知識和相應的工藝技術才干做好潔凈技術是經過工程技術方面的各種設備和嚴格辦理,使室內微粒子含量、氣流、壓力 等操控在必定范圍內,這種房間空間稱為潔凈室。空氣中的微粒子有生物粒子和顆粒物,它們使微電子出產進程、制藥進程中產生靜電, 并且污染產品,形成產品的缺陷;在醫院手術室中的污染會導致手術失敗,危及生命。因而 空氣中的微粒子是潔凈操控區首要的鏟除對象。電子企業的防靜電、防塵要求等級越高,空 氣中答應的微粒子含量就越低。下面我們就來認識一下空氣中的微粒子。(1)細菌、藻類:藻類與其他微生物的不同之處在于,它能進行光合效果。藻類在污 染操控和潔凈室范疇一般不是問題。(2)真菌類:在污染操控和潔凈室范疇,真菌是第二大微生物污染源,并會成為一種 嚴峻威脅。真菌與大多數細菌比較,對養分的要求更簡略,并能夠在沒有很多水的條件下 成長。(3)病毒:病毒在微生物中處在很獨特的方位。由于依照一般所接受的概念華體會體育,不能將 其分類為活的有機生物。它們的結構相當簡略,常常是由一層蛋白質內的單個DNA和RNA 分子組成,比微生物小得多。(4)原生物:由于原生物差不多總是與天然構成的水環境相關聯,所以它們在污染控 制和潔凈室范疇無關宏旨。顆粒物(particulate matter)又稱塵,是大氣中的固體或液體顆粒狀物質。顆粒物可分 為一次顆粒物和二次顆粒物。一次顆粒物是由天然污染源和人為污染源開釋到大氣中直接造 成污染的顆粒物,例如土壤粒子、海鹽粒子、燃燒煙塵等。二次顆粒物是由大氣中某些污染 氣體組分(如二氧化硫、氮氧化物華體會體育、碳氫化合物等)之間,或這些組分與大氣中的正常組 分(如氧氣)之間經過光化學氧化反響、催化氧化反響或其他化學反響轉化生成的顆粒物, 例如二氧化硫轉化生成硫酸鹽。電子產品潔凈廠房對空氣潔凈度和各類雜質的操控有嚴格的要求。半導體集成電路制造 是一種高科技制造技術,為了取得微電子產品的高質量和高成品率,有必要嚴格操控芯片缺 陷。而導致芯片缺陷的因素非常復雜,其污染源或許來自空氣中的粒子或加工進程中運用的 各類工藝介質中的雜質、清洗用純水中的雜質以及東西等帶來的雜質污染等。出產環境操控 就是對與產品出產進程相關的各類污染物進行操控。其間,對出產環境中微粒的操控是非常 重要的內容。當時45nm的極大規劃集成電路已投入出產,要求潔凈室的空氣潔凈度操控在 IS01級或IS02級,微粒粒徑操控在0. 03xmo隨著集成度的不斷提高、加工尺度日益微細 化,集成電路出產進程不只對空氣潔凈度等級提出越來越高的要求,也對整個產品出產進程 中微粒的黏附、化學污染物、芯片的損傷等問題提出越來越高的要求。近年來的實踐標明, 帶入潔凈室或潔凈室產生的污染以及空氣中的NO,、SO.、Na,、等,超細玻璃纖維制品 中的硼和DOP粒子,操作人員自身產生的NH;、Na,等,潔凈室建造資料發出的各種有機 物、金屬離子等,出產進程運用溶劑、洗刷液發出的各種化學污染物等對出產進程都有很大 的影響。潔凈技術協助人類實現了很多夢想,運用范疇越來越廣,正發揮著越來越大的效果。微電子工業是當時對潔凈室要求最高工業潔凈業。此外,如現代工業中的液晶、光纖等 的出產,相同均有潔凈度的要求。2.醫藥工業、宇航工業、精密機械工業、儀器儀表工業、精細化學工業等,也要運用 到潔凈技術。潔凈技術已在全國范圍內施行。微電子企業的出產環境提出了與工藝進程相對應的不同 潔凈等級要求,限制了空氣中塵土粒子的巨細和含量;室內微粒子含量、氣流、壓力等也需 操控在必定范圍內,即要求在潔凈室中進行出產。潔凈室是一項綜合性技術,作為一個合理的規劃,不只要考慮凈化空調設備和設備,而 且在規劃潔凈室時,關于工程選址、工藝安置、典型的潔凈室人身凈化處理的流程華體會體育,也有必要 滿意以下根本要求。(1)具有合理的人、資料、機械的流動路線)工藝區域和修理區域區分明確。(2)遠離鐵路、公路、機場(尤其是有防震要求的潔凈室更要遠離這些場所)。(3)若受條件限制,有必要位于工業污染或灰塵較嚴峻的地區,應處于全年最多風向的 上風側。(2)室內只安置必要的工藝設備,簡單產生灰塵和有害氣體的工藝設備盡量安置在潔 凈室外部。(4)在同一潔凈室內,盡量將潔凈度要求高的作業安置在潔凈氣流首先到達的區域。1-潔凈室有人員進入,潔凈度就會隨之而改變。人的外層皮膚不斷地向四周環境開釋 粒子,之所以產生這一情況,是由于外皮細胞連續不斷地被新細胞替換。服裝與首飾等的摩 擦,會添加外皮開釋的粒子數量。由于人員作業時會有更多的活動,所以開釋的粒子數量也 就隨著添加。2.人污染產生器,由于不或許把人徹底密封在微過濾器中,也不或許給人塑造一個完 整的空氣動力學的形狀華體會體育,所以人總是對周圍的環境產生影響。在污染操控范疇,化妝品常常 會形成問題。所以,潔凈室一般不答應人員運用化妝品。1-受控潔凈區及潔凈室都是制止吸煙的。即便中止吸煙后,粒子仍會存留在氣管和肺 中,并不停地從人體內向周圍空氣中發出。這就意味著吸煙的人是一個強大的粒子產生器。4.服務與修理人員的活動也會下降潔凈室的潔凈度,戰勝這個問題有兩種辦法:一是 將一切需求修理的物件悉數放置到潔凈室外的服務區;二是假如設備無法移出潔凈室,就在 潔凈室內進行修理,但要求修理作業堅持在最低程度。對進入潔凈室的服務人員,特別是那 些從潔凈區之外進入潔凈室的人員,都應按正確的過程進行訓練,以將污染或許降至最低。 氣流辦法以及工藝產生又分散開來的污染物,會影響工藝出產的結果。1-為保證人員、出產工藝與潔凈室之間的有效互動,既需求訓練有素的人員,又需求 潔凈室的物流記載,還需求寬敞的存儲區、廣大的擺放方位,及有序的潔凈設備寄存區、寬 敞的氣閘和更衣室。2.精心選擇規劃精巧的潔凈服裝體系,并以正確的辦法穿戴,以保證其整體的防護 性能。3-進入潔凈室前有必要清洗眼鏡并加以消毒,眼鏡的例行清洗很簡單被忘記。2-制止吸煙或運用鼻煙。與不吸煙者比較,吸煙者或運用鼻煙者會向空中多開釋出幾 百萬個粒子。2.室內一般不答應運用化妝品。一切化妝品都有粒子附著在皮膚上。假如說話、咳嗽、 打噴嚏、觸摸一件物品,這些粒子就會從皮膚上墜落下來而成為污染物。9-制止運用指甲油。由于指甲油比指甲硬,時間長了就會呈現裂痕,塵土與微生物就 有或許藏身其間,并到處傳達。3.要防止一切不必要的活動。添加身體的活動會添加體表發出的粒子。人員不必要的 活動會使周圍空氣構成渦流。2-人員是潔凈出產區首要的污染源之一。從人體脫落的表皮細胞是“死”粒子,可是 常常會沾有細菌及其他微生物,因而人員要防止觸摸設備和產品。4-手是一大污染源,手是將污染物從一個地方傳達到另一個地方的罪魁禍首之一。
每個潔凈室有必要有各自文件形式的規則及作業過程。下面提到的一般性規則,適用于所 有的潔凈室,而不專門考慮在某一特定潔凈室內進行的特定作業過程的詳細特色。
2.只答應經過訓練的人員在潔凈室作業,只要具有特定作業所需技術的人員,才答應 進入潔凈室。
3.不答應作業人員將任何或許產生污染的東西帶入潔凈室。只要潔凈室內作業一切必要 的物品,才答應帶入并且要采取防污染辦法。
5.開關門的動作都要慢。快速關門會添加從潔凈程度較低區域流入潔凈室的空氣量。 為操控開關門的速度,能夠在門上裝置閉門器或繃簧。
6.經過氣閘的兩扇門時,只要在榜首道門徹底封閉后,再翻開第二道門。所謂的聯鎖 設備就是使兩道門不能一起翻開。
7.不經過更衣室就無法進入潔凈室。更衣室不只僅用于更衣,它是潔凈程度較低的外 部區域與潔凈程度較高的內部出產區域之間的緩沖區。不得運用像緊急出口一類的、能夠從 出產區直接到達外部潔凈度較低區域的出口,這種出口或許會形成污染物從外部空氣到潔凈 室內部空氣間的敏捷搬運。
9.相對出產工藝而言,人員應處在正確的方位。比方,斜靠在產品上是欠好的習慣, 由于這會使潔凈服上的“死”粒子和微生物粒子墜落在產品上及產品的周圍。在單向流中 作業的人員,不能直接坐在單向流中,由于這會使氣流將服裝內松散粒子吹落到空氣中。對 潔凈室中采用的作業辦法,事前仔細作好方案,才干使污染的危險降至最小。
10.應仔細考慮產品的移動辦法,遙控操作辦法較可取,由于它不需求搬運產品。潔凈 室作業常常運用手套,但手套也或許成為污染源。
12.在接近產品的方位作業時,應防止說話。即便運用面罩,從鼻和嘴發出出的粒子仍 有穿過或繞過面具而觸摸產品的危險。假如打噴嚏或咳嗽無法防止,就應當避開產品。打完 噴嚏或咳嗽完之后,應更新面罩。面罩應能把嘴鼻都罩住。
13.防止觸摸潔凈室的外表。即便潔凈室本身是潔凈的,潔凈室內的外表和設備外表仍 或許是受到污染的。戴著手套的手要脫離潔凈服,以下降污染手套的危險。
14.應定時清洗潔凈室手套,以減少觸摸和傳達污染物的危險。手套清洗能夠運用經過
過濾的70%濃度的乙醇或異丙醇。這兩種酒精都能夠運用,由于它們揮發后均無殘留物。
15.潔凈室運用的抹布只能用一次或只能按事前定好的次數運用,并應在用完今后拋 棄。用抹布進行清潔時,應運用搖擺起伏大而直的動作,動作與動作之間沒有堆疊。
16.在潔凈室作業,應運用平穩、仔細考慮好的動作。快速雜亂的動作會使室內懸浮粒 子濃度大大添加。
17.留在潔凈室內的產品應放在密封柜中或放在瓶內,以使物品或產品與污染物觸摸的 危險降至最小。最好的辦法是將其保存在層流作業臺或安全作業臺中。
19.應運用合適的辦法,對潔凈室進行潔凈,有的情況下還要對潔凈室進行消毒。
20.進入潔凈室的人有必要知道他的責任,并受過各種潔凈室專業技術的專門訓練,懂得 潔凈室內一切體系的功能。
21.產生重大事故時,比方潔凈室表里產生火災、爆破、斷電等,一切人員應快速有序 地舉動。呈現緊急情況,比方打破了有毒的或無毒的資料,有個別職工不適,或其他類似情 況等,職工都應知道應怎么采取舉動,并堅持鎮定。
23.一切在潔凈室作業的人員,不論其作業內容怎么,有必要穿戴適當的潔凈室服裝。
27.在氣閘室中,應放有塑料袋,可將潔凈服放入袋中以便隔離和運輸。這樣,就能夠 將用過的潔凈服輸送到洗刷區,而沒有污染產品或人員的危險。
31-一切與潔凈室外人員的言語交流,悉數都要經過內線電話或內部通訊體系進行。決 不能把氣閘室和通道當成潔凈室與出產區外交流的通道華體會體育。
33.將量杯、燒瓶及其他用品帶入潔凈室前,有必要依照既定過程進行清潔與滅菌。
34-潔凈室內只能運用長纖維制作的抹布,現在運用最廣泛的是組成資料抹布。傳統的 家用拖布、刷子及其他物品,決不能用于潔凈室,潔凈室要用一次性無塵布、無塵紙、一次 性帽子及口罩。
進入潔凈區時有必要嚴格依照更衣程序進行更衣、換鞋(不同區域的鞋子按規則擺放在 相應的方位上)一洗手—消毒—穿潔凈上衣和褲子、鞋套(先上后下),戴口罩(穿戴結束 后,在鏡子面前收拾著裝,保證頭發、胡須和里邊的衣服不顯露)—進入緩沖間,手部消 毒一潔凈區。
進出潔凈區時,應隨手關門,不能一起翻開連通緩沖間和潔凈等級不同的通道,以免影 響潔凈區內潔凈空氣的流轉辦法。在潔凈室作業時防止大聲喧嘩,制止打鬧嬉戲;操作應輕 拿輕放,稱量物料須第二人復核,物料稱量配置后及時清理作業臺面,隨時堅持作業區域的 衛生清潔與整潔。
要加強對出產設備的維護作業,適時對設備滾動部件進行潤滑,進行電路檢査和易磨損 部件查看替換等,制止對設備亂敲亂打或故意損壞設備。出產用的工器具和清潔用具應分類 運用,定點寄存。清潔用具、抹布不能交叉混用,運用后清潔潔凈一致寄存在潔具間。工器 具應會集在規則方位擺放,運用后清潔潔凈及時放回本來方位上,時間堅持出產區域的整潔 有序。出產運用的各類記載應在崗位顯著方位放置并分類,便于作業人員及時記載并進行復 核,出產結束后,記載由崗位專人收拾,擔任人審閱后交由相關部分人員存檔。
該公司把潔凈等級較高的區域稱作特別區域,特別區域有:黃光區、灰區、一般潔凈 區。特別區域需求做的保潔服務作業內容與日常保潔的內容根本相同,可是專業儀器不讓保 潔員管和動。
對保潔員沒有特別的要求,可是有必要依照甲方編制的辦理文件訓練合格后,方能上崗進 入潔凈區作業。操控潔凈區衛生規范要求極高,有必要經過空氣測量儀評定達標情況。為了保證潔凈區達 到潔凈規范,保潔操作流程、操作工藝、保潔職工操作動作的特別規則由甲乙雙方共同制 定,適應潔凈區的要求并能詳細施行。比方:潔凈室的地面要求職工用無塵布蹲著一塊一塊地擦,并且職工有必要是往后退著 擦,地面資料為環氧樹脂;潔凈室每天進行消毒,并規則了消毒的頻次和時間;設備管道都 有必要定時保潔,不能有死角。潔凈區和一般區域不同,按潔凈區的防靜電、防塵專業要求,潔凈室有專用吸塵器、專 用服裝,不得用一般抹布,要用專用的一次性無塵布、無塵紙進行保潔操作,職工戴一次性 的專用帽子及口罩。職工操作流程記載、查看記載、交接班記載指定專人辦理,寄存在指定地址。本文網址: